高纯六氟化硫在常温常压下呈气态，装瓶后为高压液体。无色、无臭、无毒、不燃。具有良好的化学稳定性和热稳定性。近年来在许多消费技术范畴中，越来越显现出它的重要性。高纯六氟化硫是我国科研、消费等许多部门急需的特种气休。

　　在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺，在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。还是重要的激光资料，在其它范畴也有重要用处。由于良好的绝缘性和灭弧性，气体被普遍应用于电器工业，如断路器、高压开关、高压变压器、高压传输线、互感器等。

　　详细的应用表现在以下几方面，高纯六氟化硫还因化学惰性及无毒、不燃及无腐蚀性，普遍用于金属冶炼及大气示踪、电子制造等行业，电子级高纯的拂晓六氟化硫是一中理想的电子蚀刻剂，大量应用于微电子等技术范畴。

　　冷冻工业中，高纯六氟化硫可作为致冷剂，拂晓六氟化硫致冷范围在-45℃-0℃之间，电气工业应用拂晓六氟化硫作为很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容质变压器、高压电缆、气体绝缘资料等，六氟化硫气体还能够作为采矿工业用作反吸附剂，在矿井煤尘中可用于置换氧。