六氟化硫气体除在组成过程中发作的杂质外，在气体的充装过程中还或许混入少数的空气、水分、和矿物油等杂质，这些杂质均带有或会发作必定的毒性物质。因而，为确保纯度和质量，对出厂的六氟化硫均拟定了质量标准，并要求生产厂家在供货时供给生物实验无毒证明书。

　　电器设备内的aSF6气体在高温电弧发作效果时而发作的某些有毒产品。例如：SF6气体在电弧中的分化和与氧的反响：会生成氟化亚硫酰、四氟化硫酰 、氟化硫酰等有毒物质。电器设备内的六氟化硫气体分化物与其内的水分发作化学反响而生成某些有毒产品。

　　例如：SF6气体分化物与水的继发性反响生成氢氟酸、二氧化硫、硫酸等、电器设备内的SF6气体及分化物与电极（Cu-W 合金）及金属资料（AL、Cu）反响而生成某些有毒产品。六氟化硫气体及分化物与电极或其它资料反响： ALF3（固态粉末）ALF3（固态粉末）CuF2（固态粉末） 等固态粉末、电器设备内的SF6气体及分化物与绝缘资料反响而生成某些有毒产品。

　　如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学效果，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产品。 以上这些六氟化硫气体高温分化的产品都会导致六氟化硫气体纯度不纯的问题。咱们在选购的时分首先要防止，找正规厂家购买，并顺便产品检测陈述。